详解产生MURA的各个产品

作者：瑞祥微电子点击：893 时间：2016/11/10

为何会有MURA产生?-就CF制程而言
膜厚-因数膜厚的Coating不均,导致产生色不均的现像.
Coating-光阻于coating时若喷嘴有阻塞的情况,即会造成verticalmura.

为何会有MURA产生?-就TFT制程而言
Over-lap:TFT的主要构成为层与层之间的关关相连,若某一层当中有shift的情况产生,就会产生异常,可能影中和TFT的特性而造成MURA.

为何会有MURA产生?-就LCD制程而言
Cellgap:cell gap的不均,偏高或偏低都会造成MURA的现像.
Spacer:spacer散布的均匀性及spacer本身原材料的均匀性都有可能影响MURA的产生.
Roller:因机台的roller过大或是roller上沾附后异物,造成panel经过roller后而产生丸状或条状的MURA.
Stage:因机台的吸力过大而造成吸附后形成stage mura,或 stage的平整度不佳,当经过制程机台后,也有可能产生相关性的MURA.

为何会有MURA产生?-就LCM制程而言
Roller:因机台的roller过大或是roller上沾附后异物,造成panel经过roller后而产生丸状或条状的MURA.
vacuum:因机台stage吸力过大造成吸附后形成stage mura.
B/L本身Film材不良或其他来料造成异常也会形成MURA现像,通常以交叉验证等方式来确认B/L是否有异常现像.
Polarizer:偏光板本身来料不良,造成偏贴后形成MURA,通常更换偏光板后即OK.

为何会有MURA产生?-就人为因素而言
不当拿取:因拿到panel方式不当,手指按压到面板的力量过大,易造成丸状MURA.

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