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LCD关键材料之ITO玻璃

作者:瑞祥微电子    点击:965    时间:2016/9/22

   ITO玻璃 在氧化物导电膜中,以掺Sn的In2O3(ITO)膜的透过率最高和导电性能最好,而且容易在酸液中蚀刻出微细的图形。其透过率已达90%以上,ITO中其透过率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之比例来控制,通常SnO2:In2O3=1:9。


   ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡,ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,通常有两回事个主要的性能指针:电阻率和光透过率。


   目前ITO膜层之电阻率一般在5*10-4左右,最好可达5*10-5,已接近金属的电阻率,在实际应用时,常以方块电阻来表征ITO的导电性能,其透过率则可达90%以上,ITO膜之透过率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之比例控制,增加氧化锢比例则可提高ITO之透过率,通常Sn2O3: In2O3=1:9,因为氧化锡之厚度超过200Å时,通常透明度已不够好---虽然导电性能很好。


   ITO在表面有自由离子并在通电状态下极易发生氧化还原反应而发生ITO腐蚀,所以我们不要裸手去触摸LCD的电极,因为人体汗液中含有的卤素(cl元素)是ITO的天敌。

目前这些ITO玻璃的供应商有韩国三星康宁公司、深圳伟光公司、深圳莱宝公司、广州盛诺公司、安徽华益公司等。


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